sistem, sistem pasokan gas, dan sistem catu daya frekuensi radio. Terutama

digunakan untuk: pertumbuhan film tipis logam, film tipis keramik, film tipis komposit,

graphene, dll. Sangat mudah untuk menambahkan fungsi, dan dapat memperluas fungsi seperti:

pembersihan plasma dan etsa. Sistem PECVD memiliki keunggulan film tinggi

tingkat deposisi, keseragaman yang baik, konsistensi dan stabilitas yang tinggi.

Teknis terperinci

parameter

Model

TL1600-I

Kekuasaan

5KW

Ukuran tabung OD） (mm)

Tabung korundum kemurnian tinggi: 60mm (diameter tabung)

Dua colokan tungku ditempatkan di setiap sisi. Itu

steker tungku dapat memblokir radiasi panas di tengah tabung tungku

dan harus ditempatkan pada posisi yang benar di tungku sebelum pemanasan.

Dimensi

1120X490X855

tegangan suplai

220V

fase

Fase tunggal

elemen pemanas

1800 model silikon molibdenum bar

Jenis kontrol suhu

Menggunakan

Instrumen pengatur suhu program Yudian (standar)

1.

Kontrol suhu program 30-segmen penyesuaian PID cerdas.

2.

Dengan perlindungan suhu berlebih, sirkuit pemanas tungku listrik akan

akan terputus secara otomatis ketika suhu melebihi suhu atau ketika

pasangan rusak. ON, lampu ON pada panel mati, lampu OFF menyala,

dan tungku listrik dilindungi secara terbatas).

3.

Dengan 485 antarmuka komunikasi (standar dengan perangkat lunak opsional)

4.

Ini memiliki fungsi perlindungan kegagalan daya, yaitu, ketika tungku

dihidupkan setelah daya dimatikan, program tidak dimulai dari

suhu awal, tetapi mulai dari suhu tungku ketika daya

tidak aktif.

5.The

meteran memiliki fungsi penyetelan suhu sendiri

(Anda perlu membayar ekstra untuk penggantian yang diimpor

instrumen, opsional)

Instrumen FP93                             Instrumen EROPA                       Layar sentuh

instrumen

(shimaden, Jepang)

bahan kamar

1. Bahan perapian terbuat dari kualitas tinggi

serat polikristalin alumina.

2. Permukaan tungku bagian dalam dilapisi dengan

diimpor lapisan alumina suhu tinggi 1800 derajat, yang dapat meningkatkan

emisivitas dan membuat medan suhu lebih seimbang.

Katup dan flensa

kontrol presisi

layar tampilan digital.

Mengambil

Pompa vakum VRD16

VRD16

Istilah teknis

Spesifikasi

VRD-16

Kecepatan pemompaanm³/h（L/s）

daya motor KW

0,75 KW/0,55 KW

Koneksi inlet/outletDN

KF25

pengontrol aliran digunakan, silakan lihat bagian belakang