Manajer penjualan:andrea
Surel: Andrea@tmaxlaboratory.com
Wechat wechat: 18250801164
Catu Daya RF untuk PECVD
Itu
Sistem PECVD terdiri dari tungku tabung, ruang vakum kuarsa, ruang hampa
sistem, sistem pasokan gas, dan sistem catu daya frekuensi radio. Terutama | digunakan untuk: pertumbuhan film tipis logam, film tipis keramik, film tipis komposit, |
graphene, dll. Sangat mudah untuk menambahkan fungsi, dan dapat memperluas fungsi seperti: | pembersihan plasma dan etsa. Sistem PECVD memiliki keunggulan film tinggi |
tingkat deposisi, keseragaman yang baik, konsistensi dan stabilitas yang tinggi. | Parameter teknis utama catu daya RF: |
Rentang keluaran daya: | 0-500W |
Terpantul maksimum | kekuatan |
200W | frekuensi kerja |
RF: 13.56MHZ ± 0,005% | Stabilitas daya |
+/-0,1% | Komponen harmonik |
-50dbc | Lebar daerah Rf |
0-600mm dapat disesuaikan | Cara yang cocok |
otomatis | Mode pendinginan |
Titik dingin
Kebisingan
<50dB
Subscribe to our weekly newsletter and receive exclusive offers on products you love!
X
Gold Supplier
