Sistem CVD Lab dengan Tungku Tabung Rotary Zona Ganda 1500-1500C

Sales Sistem CVD Lab dengan Tungku Tabung Rotary Zona Ganda 1500-1500C

Manajer penjualan:andrea

Surel: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechat wechat: 18250801164

  • :
  • :

Rincian produk  

Sistem CVD Lab dengan Tungku Tabung Rotary Zona Ganda 1500-1500C

Sistem CVD terdiri dari sistem pasokan gas + tungku tabung + sistem vakum, dan suhu maksimum dapat mencapai 1200 derajat, 1400 derajat, 1600 derajat, dan 1700 derajat. Zona pemanasan dapat berupa zona suhu tunggal, zona suhu ganda, zona suhu tiga, dll. Vakum pamungkas dapat mencapai 10-3Pa. Sistem pasokan gas dapat berupa flowmeter massa atau flowmeter apung untuk pengaturan aliran. Jumlah saluran pencampuran dapat berupa 2 saluran, 3 saluran, 4 saluran, dan 5 saluran.


Parameter teknis terperinci

Model

1500-1500-I                                                     1500-1500-II

Kekuasaan

9KW                                                                   9KW

Tabung

ukuran

dia

60(OD) X1400 mm                                     Dia 80(OD) X1400 mm

Memasok

voltase

380V                                                                     380V

Fase

fase ganda                                                              fase ganda

Tabung

Tabung korundum: AIO kemurnian tinggi

keramik (termasuk) 99,5%

Pemanasan

elemen

Pertama

zona suhu: batang karbon silikon                     Zona suhu kedua: batang karbon silikon

Kecepatan putaran tabung tungku

Dengan motor kecepatan variabel stepless,

kecepatan dapat disesuaikan antara (1-25 RPM)

Tenaga motor

40W

Tungku dapat dimiringkan pada suatu Sudut

0-30 derajat

Jenis penggerak

Sabuk dan gigi bergigi

Kontrol

mode

Instrumen kontrol suhu program UAV

(standar)


1, kontrol suhu program 30-tahap

penyesuaian PID cerdas.

2. Dengan perlindungan suhu berlebih, listrik

sirkuit pemanas tungku secara otomatis terputus ketika suhu

suhu berlebih atau rusak, (ketika suhu tungku listrik melebihi

1520 derajat atau termokopel ditiup, relai AC di sirkuit utama

akan secara otomatis terputus, sirkuit utama rusak. Aktif, AKTIF

lampu pada panel mati, lampu MATI menyala, dan perlindungan terbatas

tungku listrik).

3, dengan 485 antarmuka komunikasi (standar

saat membeli perangkat lunak)

4, dengan fungsi perlindungan mati, itu

adalah, ketika daya dihidupkan setelah daya dimatikan, program

tidak mulai dari suhu awal, tetapi suhu tungku

bangkit dari saat listrik mati.

5, meteran memiliki fungsi penyetelan suhu sendiri

(Anda perlu membayar ekstra untuk penggantian

instrumen impor, opsional)

instrumen FP93

instrumen EUROTHERM

Layar sentuh

instrumen

(shimaden, Jepang)



bahan tungku

1. Kualitas tinggi kemurnian tinggi alumina polikristalin

tungku pengawetan serat yang dibentuk oleh filtrasi vakum.

2. Mengadopsi teknologi Jepang untuk pencetakan.

Kontrol

ketepatan

+/- 1℃

Pemicu

Bergeser fase

pemicu

Listrik

alat

Zhejiang

chint

silikon

dikendalikan

106/16ESEMIKRON

Itu

suhu tertinggi di zona suhu pertama dan kedua

1500℃

Dinilai

suhu di zona suhu pertama dan kedua

1400

Pemanasan

kecepatan

20℃/ Min (dapat dimodifikasi sesuai kebutuhan)

Direkomendasikan

tingkat kenaikan suhu

10℃/ Menit

termokopel

S ketik yang pertama

zona suhu

S

ketik wilayah suhu kedua

Panjangnya

bagian pemanas di zona suhu pertama dan kedua

300+300mm                                             300+300mm

Panjang suhu konstan

450mm                                                        450mm

Pasokan udara tiga saluran Gx-3 (campuran)

udara) sistem

1.1. Gas keluar dari silinder, adalah

tertekan melalui katup pengurang tekanan, melewati tabung PTFE

ke saluran masuk sistem pasokan gas, dan kemudian melewati aliran massa




meter untuk mengontrol aliran gas, dan kemudian melewati tangki pencampur gas dan

kemudian masuk ke saluran masuk tungku.

1.2.

2)


Pengukur tekanan terpasang ke tangki pencampur gas, dan pengukur tekanan

disk tampilan dan pengontrol flowmeter proton dipasang pada yang sama

panel.

1.3.

Setiap saluran gas memiliki katup penutup tekanan tinggi untuk keselamatan.

1.4.

Jalur gas mengadopsi pengukur aliran massa gas presisi tinggi, dan bagian dalam

jalur gas seluruhnya terbuat dari pipa baja tahan karat, yang memiliki korosi yang baik

perlawanan.

1.5.

Semua sambungan di dalam kotak dihubungkan oleh ferrules stainless steel, yang memiliki

sesak udara yang baik dan tahan tekanan tinggi.

2. Parameter teknis:

Saluran pneumatik: 3

Kontrol aliran gas:

pengukur aliran massa.

Dimensi kabinet:

600X600X600mm

pengukur aliran massa

Parameter teknik:

Antarmuka: 6

Tampilan: LED

Suhu lingkungan kerja: 5 ~ 45 ° C

Pengontrol aliran:

Parameter pengontrol aliran proton Silakan periksa kembali

Tabung baja tahan karat:

6 di luar X 4

vakum tekanan

tabel: -0,1~0,15 MPa, 0,01

MPa/divisi

Katup berhenti: 6

Kontrol aliran: PLC

kontrol cerdas

功率

3. Pengukur aliran massa

电压

Parameter teknik:

转速

Produk

Nama: Pengontrol Aliran Massa

Produk

Deskripsi: Tipe normal, sirkuit analog

6

Produk

detail: Biasa, sirkuit analog, segel karet, shunt tubular, tidak mudah untuk

memblokir.

Utama

indikator: Rentang: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (Anda dapat memilih rentang secara sewenang-wenang)

Akurasi: ± 1% F.S

Linier: 0,5% F.S

Pengulangan: ± 0,2% F.S

Waktu respons: 1S

Penurunan tekanan udara: <0.01MPa

Tekanan maksimum: 3MP

Suhu lingkungan kerja: 5~45 °C

Sinyal input dan output: 0~+5.00V

Daya: +15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Dimensi: 158*30*110

Berat: 0,9 Kgg



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.