Manajer penjualan:andrea
Surel: Andrea@tmaxlaboratory.com
Wechat wechat: 18250801164
Sistem CVD Lab dengan Tungku Tabung Rotary Zona Ganda 1500-1500C
Sistem CVD terdiri dari sistem pasokan gas + tungku tabung + sistem vakum, dan suhu maksimum dapat mencapai 1200 derajat, 1400 derajat, 1600 derajat, dan 1700 derajat. Zona pemanasan dapat berupa zona suhu tunggal, zona suhu ganda, zona suhu tiga, dll. Vakum pamungkas dapat mencapai 10-3Pa. Sistem pasokan gas dapat berupa flowmeter massa atau flowmeter apung untuk pengaturan aliran. Jumlah saluran pencampuran dapat berupa 2 saluran, 3 saluran, 4 saluran, dan 5 saluran.
Parameter teknis terperinci
Model | 1500-1500-I 1500-1500-II |
Kekuasaan | 9KW 9KW |
Tabung | ukuran |
dia | 60(OD) X1400 mm Dia 80(OD) X1400 mm |
Memasok | voltase |
380V 380V | Fase |
fase ganda fase ganda | Tabung |
Tabung korundum: AIO kemurnian tinggi | keramik (termasuk) 99,5% |
Pemanasan | elemen |
Pertama | zona suhu: batang karbon silikon Zona suhu kedua: batang karbon silikon |
Kecepatan putaran tabung tungku | Dengan motor kecepatan variabel stepless, |
kecepatan dapat disesuaikan antara (1-25 RPM) | Tenaga motor 40W Tungku dapat dimiringkan pada suatu Sudut 0-30 derajat Jenis penggerak Sabuk dan gigi bergigi Kontrol mode Instrumen kontrol suhu program UAV |
(standar) | 1, kontrol suhu program 30-tahap penyesuaian PID cerdas. |
2. Dengan perlindungan suhu berlebih, listrik | sirkuit pemanas tungku secara otomatis terputus ketika suhu |
suhu berlebih atau rusak, (ketika suhu tungku listrik melebihi | 1520 derajat atau termokopel ditiup, relai AC di sirkuit utama |
akan secara otomatis terputus, sirkuit utama rusak. Aktif, AKTIF | lampu pada panel mati, lampu MATI menyala, dan perlindungan terbatas |
tungku listrik). | 3, dengan 485 antarmuka komunikasi (standar |
saat membeli perangkat lunak) | 4, dengan fungsi perlindungan mati, itu |
adalah, ketika daya dihidupkan setelah daya dimatikan, program | tidak mulai dari suhu awal, tetapi suhu tungku |
bangkit dari saat listrik mati. | 5, meteran memiliki fungsi penyetelan suhu sendiri |
(Anda perlu membayar ekstra untuk penggantian | instrumen impor, opsional) |
instrumen FP93 |
|
instrumen EUROTHERM | Layar sentuh |
instrumen | (shimaden, Jepang) |
bahan tungku
1. Kualitas tinggi kemurnian tinggi alumina polikristalin
tungku pengawetan serat yang dibentuk oleh filtrasi vakum.
2. Mengadopsi teknologi Jepang untuk pencetakan.
Kontrol
ketepatan
+/- 1℃
Pemicu
Bergeser fase
pemicu
Listrik
alat
Zhejiang
chint
silikon
dikendalikan
106/16ESEMIKRON
Itu
suhu tertinggi di zona suhu pertama dan kedua
1500℃
Dinilai
suhu di zona suhu pertama dan kedua
1400
Pemanasan
kecepatan
20℃/ Min (dapat dimodifikasi sesuai kebutuhan)
Direkomendasikan
tingkat kenaikan suhu
10℃/ Menit
termokopel
S ketik yang pertama
zona suhu
S
ketik wilayah suhu kedua
Panjangnya
bagian pemanas di zona suhu pertama dan kedua
300+300mm 300+300mm
Panjang suhu konstan
450mm 450mm
Pasokan udara tiga saluran Gx-3 (campuran)
udara) sistem
1.1. Gas keluar dari silinder, adalah
tertekan melalui katup pengurang tekanan, melewati tabung PTFE
ke saluran masuk sistem pasokan gas, dan kemudian melewati aliran massameter untuk mengontrol aliran gas, dan kemudian melewati tangki pencampur gas dan
kemudian masuk ke saluran masuk tungku. 1.2. 2) | Pengukur tekanan terpasang ke tangki pencampur gas, dan pengukur tekanan | disk tampilan dan pengontrol flowmeter proton dipasang pada yang sama | |
panel. | 1.3. | ||
Setiap saluran gas memiliki katup penutup tekanan tinggi untuk keselamatan. | 1.4. | ||
Jalur gas mengadopsi pengukur aliran massa gas presisi tinggi, dan bagian dalam | jalur gas seluruhnya terbuat dari pipa baja tahan karat, yang memiliki korosi yang baik | ||
perlawanan. 1.5. | Semua sambungan di dalam kotak dihubungkan oleh ferrules stainless steel, yang memiliki | sesak udara yang baik dan tahan tekanan tinggi. | |
2. Parameter teknis: | Saluran pneumatik: 3 | ||
Kontrol aliran gas: | pengukur aliran massa. | ||
Dimensi kabinet: | 600X600X600mm | ||
pengukur aliran massa | Parameter teknik: | ||
Antarmuka: 6 | Tampilan: LED | ||
Suhu lingkungan kerja: 5 ~ 45 ° C | Pengontrol aliran: | ||
Parameter pengontrol aliran proton Silakan periksa kembali | Tabung baja tahan karat: | ||
6 di luar X 4 | vakum tekanan | ||
tabel: -0,1~0,15 MPa, 0,01 | MPa/divisi | ||
Katup berhenti: 6 Kontrol aliran: PLC kontrol cerdas | 功率 | 3. Pengukur aliran massa | |
电压 | Parameter teknik: | ||
转速 | Produk | ||
Nama: Pengontrol Aliran Massa | Produk | ||
Deskripsi: Tipe normal, sirkuit analog | 6 | ||
Produk | detail: Biasa, sirkuit analog, segel karet, shunt tubular, tidak mudah untuk | ||
memblokir. Utama | indikator: Rentang: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (Anda dapat memilih rentang secara sewenang-wenang) | |
• | Akurasi: ± 1% F.S | ||
• | Linier: 0,5% F.S | ||
• | Pengulangan: ± 0,2% F.S | ||
• | Waktu respons: 1S | ||
• | Penurunan tekanan udara: <0.01MPa | ||
• | Tekanan maksimum: 3MP | • | |
Suhu lingkungan kerja: 5~45 °C | • | ||
Sinyal input dan output: 0~+5.00V | • | ||
Daya: +15V 50mA -15V 50mA | • |
Dimensi: 158*30*110
•
Berat: 0,9 Kgg